產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NE-PE13F是一款高性價(jià)比的干法去膠設(shè)備，可用于尺寸8英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理。等離子去膠的工作原理是將覆有光刻膠的外延片/晶圓放置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，通入少量氧氣，利用電壓放電，把氧氣（O2）電離成激發(fā)態(tài)的氧原子（O），然后氧原子和抗蝕劑中的C和H快速反應(yīng)，生成CO、CO2和H2O等揮發(fā)性氣體，用真空泵抽走，以達(dá)到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡(jiǎn)單、去膠效率高、去膠后晶圓表面干凈光潔而且無劃痕、成本低、環(huán)保，有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-PE13F |
| 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 頻率 | 13.56 MHz自動(dòng)阻抗匹配 |
| 腔體尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
| 腔體有效處理面積 | 230（L）×205（D）mm |
| 腔體容積 | 13.5L |
| 處理產(chǎn)品尺寸 | 可處理8寸晶圓，向下兼容6寸，4寸晶圓 |
| 腔體材質(zhì) | 316 鏡面不銹鋼 |
| 極限真空度 | 1PA |
| 氣路數(shù)量 | 3路耐腐蝕，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/td> |
| 外形尺寸 | 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
| 電源供應(yīng) | 220V |
產(chǎn)品應(yīng)用
硅片清洗
晶圓去膠
有機(jī)物清洗
親水性提升
表面微刻蝕
表面活化改性
應(yīng)用案例
等離子技術(shù)
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