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真空等離子表面處理機(jī)需要多系統(tǒng)協(xié)同作用，主要包括控制系統(tǒng)、工作氣源系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)和反應(yīng)腔等。

真空等離子表面處理機(jī)常見故障和檢查維修方法

無法起輝

（1）射頻電源故障，需要檢測(cè)電源輸出功率；

（2）電極板正負(fù)極插錯(cuò)，電極板鍍金插頭斷，發(fā)黑接觸不良，需要檢查正負(fù)極板是否插錯(cuò)，是否有接觸不良的現(xiàn)象存在；

（3）氣體進(jìn)氣量異常，需要檢查氣體質(zhì)量流量計(jì)和進(jìn)氣閥門是否正常；

（4）腔室壓力不滿足要求，需要檢查真空示數(shù)是否達(dá)標(biāo)，若達(dá)標(biāo)，則需要外接真空計(jì)檢測(cè)腔室真空度，以確定真空傳感器無損壞；

（5））射頻反射功率過大，需要檢查自動(dòng)匹配模塊是否正常。

輝光不穩(wěn)

（1）射頻電源輸出不穩(wěn)，需要檢測(cè)射頻功率；

（2）腔室壓力不穩(wěn)定，需要檢查控制氣體進(jìn)氣量的真空閥是否正常；

（3）電纜接觸不良，需要重新連接，并使用專用清洗劑清潔。

壓力顯示不穩(wěn)定

（1）真空泵異?；蚶匣谜婵沼?jì)檢測(cè)泵體進(jìn)氣口處真空度，視情況需要適當(dāng)增加泵油或更換新泵；

（2）真空閥異常，檢查真空閥開閉是否順利；

（3）氣體流量異常，檢查氣體流量計(jì)，閥門以及管路是否正常；

（4）真空管路泄露，檢查真空系統(tǒng)漏率，檢查管路各部位如波紋管是否出現(xiàn)裂紋，必要時(shí)用檢漏儀檢漏以精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)。

典型維修案例分析

真空等離子表面處理機(jī)的射頻反射功率過高會(huì)出現(xiàn)無法起輝或輝光不穩(wěn)的故障，程序在檢測(cè)到反射功率超過設(shè)定值之后會(huì)報(bào)錯(cuò)，并停止工藝，此時(shí)需要對(duì)射頻匹配模塊進(jìn)行維修和調(diào)整。一般情況下，若飄移不大，可通過設(shè)備的調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)整到允許范圍內(nèi)。但下列現(xiàn)象沒有辦法通過調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)到允許范圍之內(nèi)：匹配命令發(fā)出之后調(diào)整電機(jī)不轉(zhuǎn)、電容葉片變形卡住、位置電位器壞、位置電位器軸向緊固螺釘松動(dòng)、齒輪磨損等情況只能打開匹配箱進(jìn)行相應(yīng)位置的調(diào)整及維修。

以上就是常見的真空等離子表面處理機(jī)故障和檢查方法，為設(shè)備的使用和維修維護(hù)提供了一定的參考。一般碰到問題最好第一時(shí)間直接找廠家聯(lián)系，通過廠家來提供專業(yè)的操作指導(dǎo)，避免出現(xiàn)更大的故障問題。