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等離子清洗方法用氣體作為處理介質(zhì)，利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)以電能將氣體轉(zhuǎn)換為化學(xué)反應(yīng)性和活性很高的氣體等離子體（plasma），等離子體通過化學(xué)或物理作用對固體樣品表面進(jìn)行處理，引起分子結(jié)構(gòu)改變，實(shí)現(xiàn)分子水平的玷污去除。

等離子清洗效果與清洗氣體類型有關(guān)，根據(jù)不同的待清洗材料可選用氬氣、氮?dú)?、氧氣、氫氣或者是氬氫、氬氧等混合氣體進(jìn)行短時(shí)間表面清洗。一種是激發(fā)惰性氣體產(chǎn)生等離子體，如氬氣、氮?dú)獾?；另一種是激發(fā)活潑氣體產(chǎn)生等離子體，如氫氣、氧氣等。

氬氣：

氬氣等離子清洗方式屬于一種物理清洗方式，主要利用了粒子的動能，通過物理撞擊擊碎表面高分子的鍵合，并得到微結(jié)構(gòu)粗糙面。

氧氣：

氧氣等離子清洗主要是利用了化學(xué)反應(yīng)的原理，利用O2進(jìn)行等離子清洗的過程中，有機(jī)分子與氧離子能反應(yīng)形成H2O或CO2，從而汽化，通過氧化燃燒高分子聚合物和有機(jī)物，或者形成雙鍵結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)，可表面改性，整個(gè)過程中也包括一些物理過程。

氫氣：

是一種具有還原性作用的氣體，可以還原被氧化的金屬表層，并伴隨一定的物理過程，一般將其與氬氣同時(shí)使用，能夠保證更高的清洗效率和效果。

氨氣：

用氨氣等離子處理，可以使其表面連接上氨基基團(tuán)。氨氣等離子體是一種能夠顯著改善表面粗糙度、提升潤濕性并增加材料表面含氮基團(tuán)數(shù)量的處理方法。它被認(rèn)為是等離子清洗中效果最顯著的氣體之一。然而，由于氨氣對大氣環(huán)境不友好，處理氨氣污氣給大規(guī)模工業(yè)化帶來了巨大的挑戰(zhàn)。

含氟氣體：

含氟氣體在經(jīng)過等離子處理后，能夠在自由基上鍵合含氟官能團(tuán)，從而極大地提高材料表面的疏水性能。

混合氣體：

主要指的是同時(shí)將多種氣體進(jìn)行混合，利用發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)以及物理過程達(dá)到更佳的清洗效果。例如將氬氣、氫氣混合使用，先利用氬氣增強(qiáng)物體表面的結(jié)構(gòu)活化，然后利用氫氣進(jìn)行清洗，采用這種方式提升了結(jié)合的強(qiáng)度。

不同的工藝氣體種類所激發(fā)的等離子的性能是不同的，需要根據(jù)被清洗材料選擇不同的工藝氣體。