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玻璃材料隨著人類文明科技的飛速進(jìn)步已經(jīng)廣泛應(yīng)用于人們?nèi)粘Ｉ钪校缒粔ΣＡ?、手機(jī)蓋板玻璃、紅外視窗玻璃、汽車玻璃、手表表盤等。但是由于玻璃材料在加工、物流及使用過程中，玻璃材料的表面難免會(huì)造成一些劃傷和磨損等缺陷，嚴(yán)重影響玻璃器件的使用質(zhì)量，導(dǎo)致有大量的玻璃材料被當(dāng)作廢品回爐，造成了巨大的浪費(fèi)與經(jīng)濟(jì)損失。因此，為了降低高額損失，提高玻璃的使用壽命，增強(qiáng)玻璃表面的抗劃傷和抗磨損性能已成為當(dāng)今社會(huì)迫切需要解決的問題。

鍍膜是材料表面改性的一個(gè)重要方面，而在玻璃基片上沉積大面積各種功能的膜層已經(jīng)形成巨大的產(chǎn)業(yè)化規(guī)模,是目前玻璃深加工的重要手段之一,，通過鍍膜可以提高玻璃的各項(xiàng)性能。

玻璃鍍膜基底附著力的改善是一個(gè)重要的技術(shù)問題，它直接關(guān)系到鍍膜的質(zhì)量和持久性。等離子清洗技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)表面清洗、表面活化、表面蝕刻等功能，有效去除玻璃表面的有機(jī)殘留物，提高表面的清潔度和活性，從而增強(qiáng)鍍膜與基底的附著力。

等離子清洗

常規(guī)的化學(xué)清洗方法只能清潔表面大顆粒雜質(zhì)，等離子體清洗能夠?qū)崿F(xiàn)更高的表面清潔度，同時(shí)提高表面的活性。如圖1-1所示為等離子體清洗的工作示意圖。

圖1-1 等離子清洗機(jī)工作原理示意圖

等離子體表面清洗的原理是通過通入相應(yīng)的氣體，在經(jīng)過等離子體激發(fā)后對(duì)材料表面進(jìn)行清洗。等離子體清洗的功率相對(duì)于等離子體表面刻蝕的功率小，其單個(gè)等離子體基團(tuán)攜帶的能量在撞擊材料表面時(shí)不足以對(duì)表面進(jìn)行大面積刻蝕。但表面吸附雜質(zhì)與表面原子的成鍵相對(duì)較低，等離子體攜帶的能量能夠使其斷鍵，使表面低吸附能的雜質(zhì)脫離，達(dá)到更高的清潔水平。

等離子清洗除了有去除表面低鍵能吸附雜質(zhì)的功能之外，同時(shí)等離子體基團(tuán)在撞擊材料表面的同時(shí)能夠?qū)⒛芰總鬟f給表面原子，增加表面的活性，經(jīng)過等離子體處理后的表面活性較高。如圖1-2所示為等離子體表面處理前后的對(duì)比效果圖，在表面滴水測(cè)試能夠發(fā)現(xiàn)，未經(jīng)過表面活化的玻璃表面水珠顆粒較小，顆粒聚集；而經(jīng)過等離子體表面處理后的液滴彌散，潤(rùn)濕角較小。

圖1-2玻璃等離子清洗前后水滴角對(duì)比

通過等離子清洗玻璃表面，可以顯著提高玻璃表面的附著力和表面能。此過程會(huì)增加玻璃表面硅羥基的含量，從而引起分子間的偶極作用力。這種處理有助于提高薄膜與玻璃基板之間的黏附力，并且可促進(jìn)后續(xù)磁控濺射所鍍制膜層與基板之間的化學(xué)反應(yīng)，從而提高膜層的結(jié)合強(qiáng)度。