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CCP容性耦合等離子體源和ICP感性耦合等離子體源 射頻放電等離子體一般有兩種不同的激發(fā)方式,分別為電感耦合等離子體和電容耦合等離子體,其可在低氣壓下產(chǎn)生高密度的等離子體。射頻等離子體中的電子能量通?？蛇_(dá)幾個eV甚至更高,因此被廣泛應(yīng)用于材料表面改性等領(lǐng)域。

Dec. 10, 2024

低溫等離子體在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用 伴隨著微電子技術(shù)的迅速發(fā)展,對半導(dǎo)體技術(shù)的研究變得越來越重要,而在半導(dǎo)體工藝中,低溫等離子技術(shù)起著重要的作用。在大規(guī)模集成電路制造的主要流程中,薄膜沉積、刻蝕、與清洗等過程都需要等離子體技術(shù)來輔助完成。

Dec. 10, 2024

PP聚丙烯纖維膜等離子體改性處理原理 等離子體由帶電粒子(電子和離子)、激發(fā)原子(自由基,亞穩(wěn)態(tài)分子)和光子的混合物組成,離子、電子、激發(fā)原子等物質(zhì)會對PP聚丙烯纖維膜表面進(jìn)行轟擊,在其表面產(chǎn)生物理和化學(xué)反應(yīng),起到表面清潔、表面刻蝕、表面活化等作用。

Dec. 09, 2024

介質(zhì)阻擋放電在材料表面改性處理中的應(yīng)用 介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體具備很高的化學(xué)活性,內(nèi)部的活性粒子與材料表面接觸后發(fā)生相互作用,一系列的物理、化學(xué)作用會改變材料表面的物理形貌與化學(xué)成分,賦予或者增強材料特定的功能活性。

Dec. 06, 2024

納米顆粒等離子氟化改性 等離子體氟化改性法利用等離子態(tài)下的含氟氣體,在某種特殊的作用下,與納米顆粒結(jié)合,在納米顆粒的表面上沉積,形成能優(yōu)化各種性能的聚合物。等離子體表面改性技術(shù)是一種操作簡單、處理效率高、應(yīng)用廣泛、環(huán)保的處理工藝，

Dec. 06, 2024

聚合物化學(xué)鍍前等離子體處理 等離子體處理一方面會在聚合物基體表面產(chǎn)生刻蝕提高粗糙度，另一方面會在基體表面產(chǎn)生活性官能團(tuán),這些官能團(tuán)會改善聚合物表面的親水性,有利于后續(xù)活化過程中吸附化學(xué)鍍催化劑以及提高化學(xué)鍍金屬層與聚合物之間的結(jié)合

Dec. 05, 2024