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桌面式 小型微波等離子清洗機NE-MW05
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產(chǎn)品簡介

NE-MW05是一款結(jié)構(gòu)緊湊、高性能的小型桌面式微波等離子清洗機,專為研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計,設(shè)備使用最新的性能出色的組件和軟件,可對工藝參數(shù)進行精確控制,主要用于半導(dǎo)體、光學(xué)、電子、生物芯片等領(lǐng)域?qū)Ω鞣N材料表面進行微觀清潔、活化、改性、去氧化、去膠等應(yīng)用。  

NE-MW05依靠微波等離子體技術(shù),微波等離子體具有高電離度和離解度能產(chǎn)生更多的活性粒子,從而提高清洗速率,同時微波等離子清洗機本身沒有內(nèi)部電極從而消除了電極在放電區(qū)域存在而帶來的電極材料污染,有利于高純化學(xué)反應(yīng)和延長使用壽命,適應(yīng)于作高純度物質(zhì)的制備和處理。并且整個放電過程不需要正負電極,產(chǎn)生的自偏壓極小,等離子體中離子能量低,最大程度的降低了產(chǎn)品暴露在靜電放電(ESD)中,從根本上避免了產(chǎn)品表面損傷,因此微波等離子清洗技術(shù)非常適合于在半導(dǎo)體芯片封裝中應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

型號NE-MW05
等離子發(fā)生器頻率2.45GHz
微波功率1000W
腔體材質(zhì)石英玻璃
腔體容積5L
腔體尺寸(圓形)Φ160×260(D)mm
有效處理范圍145(W)*260(D)mm
氣體流量控制器
0-500scm
氣體通道2路(氧氣、氬氣等)
外形尺寸730mm(L)×584mm(W) ×382 mm(H)
電源220V


產(chǎn)品應(yīng)用

01

去除光刻膠

去除光刻膠

02

晶圓打底膠

晶圓打底膠

03

刻蝕鈍化層

刻蝕鈍化層

04

親疏水改性

親疏水改性

05

去除氧化物

去除氧化物

06

表面清潔和活化

表面清潔和活化

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