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非熱等離子體的分類 等離子體是物質的第四種形態(tài),又被叫做電漿主要分為兩大類:熱等離子體和非熱等離子體，非熱等離子體通常由氣體放電產生,按照不同放電形式主要分為以下幾種:介質阻擋放電、射頻放電、微波放電、輝光放電和電暈放電。

Dec. 10, 2024

CCP容性耦合等離子體源和ICP感性耦合等離子體源 射頻放電等離子體一般有兩種不同的激發(fā)方式,分別為電感耦合等離子體和電容耦合等離子體,其可在低氣壓下產生高密度的等離子體。射頻等離子體中的電子能量通常可達幾個eV甚至更高,因此被廣泛應用于材料表面改性等領域。

Dec. 10, 2024

低溫等離子體在半導體工藝中的應用 伴隨著微電子技術的迅速發(fā)展,對半導體技術的研究變得越來越重要,而在半導體工藝中,低溫等離子技術起著重要的作用。在大規(guī)模集成電路制造的主要流程中,薄膜沉積、刻蝕、與清洗等過程都需要等離子體技術來輔助完成。

Dec. 10, 2024

PP聚丙烯纖維膜等離子體改性處理原理 等離子體由帶電粒子(電子和離子)、激發(fā)原子(自由基,亞穩(wěn)態(tài)分子)和光子的混合物組成,離子、電子、激發(fā)原子等物質會對PP聚丙烯纖維膜表面進行轟擊,在其表面產生物理和化學反應,起到表面清潔、表面刻蝕、表面活化等作用。

Dec. 09, 2024

介質阻擋放電在材料表面改性處理中的應用 介質阻擋放電產生的低溫等離子體具備很高的化學活性,內部的活性粒子與材料表面接觸后發(fā)生相互作用,一系列的物理、化學作用會改變材料表面的物理形貌與化學成分,賦予或者增強材料特定的功能活性。

Dec. 06, 2024

納米顆粒等離子氟化改性 等離子體氟化改性法利用等離子態(tài)下的含氟氣體,在某種特殊的作用下,與納米顆粒結合,在納米顆粒的表面上沉積,形成能優(yōu)化各種性能的聚合物。等離子體表面改性技術是一種操作簡單、處理效率高、應用廣泛、環(huán)保的處理工藝，

Dec. 06, 2024