產(chǎn)品簡介
NE-PE160F真空等離子體清洗機(jī)是一款中大型表面處理設(shè)備，利用等離子體來清洗物質(zhì)表面，以達(dá)到清潔，活化、改性、刻蝕等目的。可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
NE-PE160F主要由控制單元、真空腔體和真空泵三個部分組成，通過數(shù)控技術(shù)，可以輕松對各種參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)，因?yàn)榍逑催^程在真空腔室中進(jìn)行，所以清洗后不用干燥，操作簡單，環(huán)境友好。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | NE-PE160F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 功率 | 0-1000W可調(diào) |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 550(W)*600(D)*500(H)mm |
| 腔體容積 | 165L |
| 單層有效處理面積 | W510mm x D510mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/td> |
| 極板間距 | 54mm（可調(diào)整） |
| 處理層數(shù) | 8層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1170mm(L)×1190mm(W) ×1825 mm(H) |
產(chǎn)品應(yīng)用
提高親水性
改善粘接性
表面微刻蝕
有機(jī)物去除
氧化物還原
提高印刷油墨附著力
等離子技術(shù)
Support
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