產(chǎn)品簡介
NE-PE210F是一款中大型真空等離子體清洗設(shè)備，適用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)使用。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)來達(dá)到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機(jī)物，產(chǎn)生氧化反應(yīng)，氧等離子體和污染物產(chǎn)生二氧化碳、氧化碳和水。通過氮?dú)怆婋x形成的等離子體可以與部分子結(jié)構(gòu)發(fā)生關(guān)鍵反應(yīng)，因此它也是一種活性氣體，但與氧氣和氫氣相比，顆粒相對(duì)較重；在清洗和活化的同時(shí)，可以達(dá)到一定的轟擊和蝕刻效果，防止部分金屬表面氧化。如今，等離子清洗機(jī)廣泛用于當(dāng)代半導(dǎo)體、電路等行業(yè)，在元件封裝前、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理，其優(yōu)點(diǎn)是清除效率高，不會(huì)對(duì)樣品表面造成損傷，從而提升產(chǎn)品的質(zhì)量。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-PE210F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動(dòng)阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 功率 | 0-1000W可調(diào) |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 600(W)*600(D)*600(H)mm |
| 腔體容積 | 210L |
| 單層有效處理面積 | W560mm x D520mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣等，腐蝕性氣體需提前說明 |
| 極板間距 | 54mm（可調(diào)整） |
| 處理層數(shù) | 8層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1350mm(L)×1200mm(W) ×1850 mm(H) |
產(chǎn)品應(yīng)用
提升表面親水性
提高界面粘接性
提高材料表面能
有機(jī)物油污清洗
氧化物還原
提高印刷性能
等離子技術(shù)
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