產(chǎn)品簡介
NE-PE60F真空箱式等離子清洗機(jī)通過PLC提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時參數(shù)通過觸摸顯示屏直觀呈現(xiàn)，軟件控制系統(tǒng)，操作簡單，能接控制設(shè)備及設(shè)定各種清洗工藝曲線，并根據(jù)工藝不同進(jìn)行設(shè)定、修改、存儲、調(diào)用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進(jìn)行分析。軟件控制系統(tǒng)自動的實(shí)時記錄清洗工藝參數(shù)及溫度曲線、時間、報警相關(guān)數(shù)據(jù)，保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性，多樣化可選氣體配置，靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案滿足不同類型產(chǎn)品的清洗工藝要求。
等離子清洗與濕法清洗工藝相比，等離子清洗不需要使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等溶液，不需要后期的烘干過程，也無廢水處理的要求，是一種簡單高效、經(jīng)濟(jì)環(huán)保、無二次污染的清洗方法。通過等離子清洗可以改善了材料表面的潔凈度、親水性和潤濕性，增加基材表面的極性，去除基板表面的沾污和有機(jī)物。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | NE-PE60F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 功率 | 0-500W可調(diào) |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
| 腔體容積 | 66L |
| 單層有效處理面積 | W360mm x D370mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣等，腐蝕性氣體需提前說明 |
| 處理層數(shù) | 6層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 905mm(L)×1070mm(W) ×1740 mm(H) |
產(chǎn)品應(yīng)用
金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗
塑封(Molding)前的等離子清洗
改善粘接性
提升親水性
光刻膠的去除
表面粗化與微蝕
等離子技術(shù)
Support
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