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半導(dǎo)體 離線式等離子清洗機NE-PE65F
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產(chǎn)品簡介

NE-PE65F是一款半導(dǎo)體行業(yè)專用的真空等離子清洗機,作為一種精密干法清洗設(shè)備,適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗;可應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,可去除金屬表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應(yīng)用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實驗等。

設(shè)備采用鏡面不銹鋼鈑金,具有優(yōu)異的耐腐蝕性和潔凈度,電極絕緣部分采用陶瓷電極板托條,腔體密封件采用不含氟的材料,有效避免腔體內(nèi)氟元素污染,設(shè)備滿足半導(dǎo)體行業(yè)高潔凈度的要求,雜質(zhì)的去除會大大提升產(chǎn)品質(zhì)量,實現(xiàn)工藝性能的大幅增強,提高良品率及產(chǎn)品可靠性。

設(shè)備應(yīng)用:1、引線鍵合(Wire-bond)前的等離子清洗;2、塑封(Molding)前的等離子清洗;3、底部填充(Under-fill)前的等離子清洗;4、光刻膠的去除(Descum);5、表面粗化與刻蝕(Etching),使材料易于結(jié)合;

產(chǎn)品參數(shù)

型號NE-PE65F
等離子發(fā)生器頻率射頻13.56MHz
功率500W
腔體材質(zhì)316 不銹鋼/航空鋁材
真空泵干泵
鈑金鏡面不銹鋼
電極絕緣陶瓷
腔體容積66L
腔體尺寸400(W)*450(D)*370(H)mm
單層有效處理空間297(W)mm x 364(D)mm
電極板層數(shù)6層(可定制)
氣體流量控制器

質(zhì)量流量計0-500SCCM

工藝氣體通道2路(可增加)
外形尺寸905mm(L)×1030mm(W) ×1735 mm(H)
電源供應(yīng)AC380V,50/60Hz,三相五線100A


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