產(chǎn)品簡(jiǎn)介
氧等離子體清洗機(jī)是一種表面清潔及親水處理裝置。使用時(shí)，真空腔體內(nèi)通入一定量的氧氣，通過(guò)射頻電源施加電壓起輝產(chǎn)生帶有高能量的氧等離子體，這些氧等離子體轟擊樣品表面即可達(dá)到清潔的作用，主要應(yīng)用于樣品表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡(jiǎn)單刻蝕、表面有機(jī)物去除、親水改性實(shí)驗(yàn)、鍍膜前處理、涂層前處理等，免維護(hù)，無(wú)需任何耗材。另外氧等離子體附著在樣品表面，會(huì)在表面形成含氧官能團(tuán)如羥基（-OH）、羧基（-COOH）和羰基（-C=O）等，這些官能團(tuán)增加了材料表面的極性，可一定程度的改善表面的親水性。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-OP20F |
| 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 頻率 | 射頻13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 316 鏡面不銹鋼 |
| 腔體尺寸 | 380(L)*375(D)*160(H)mm |
| 腔體容積 | 22.8L |
| 適用產(chǎn)品尺寸 | 300*300mm |
| 極限真空度 | 1Pa |
| 控制方式 | 4.3寸觸摸屏+PLC |
| 氣路數(shù)量 | 兩路（氧氣等） |
| 外形尺寸 | 650mm(L)×575mm(W) ×635 mm(H) |
| 輸入電壓 | 220V |
產(chǎn)品應(yīng)用
硅片親水處理
PDMS鍵合
ITO/FTO玻璃親水處理
含氧官能團(tuán)引入
氧等離子刻蝕
有機(jī)物清洗
等離子技術(shù)
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