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真空等離子清洗機(jī)作為一種精密干法清洗設(shè)備，適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗；可應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，可去除材料表面的油脂、油污等有機(jī)物及氧化層。還可應(yīng)用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實驗等。